MEMS智能傳感器，能讓人與物“對(duì)話(huà)”、物與物“互通”，實(shí)現(xiàn)“萬(wàn)物互聯(lián)”。
位于蚌埠市龍子湖畔的中國(guó)傳感谷，正聚力打造千億級(jí)智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群，一群不忘初心、求真務(wù)實(shí)的優(yōu)秀共產(chǎn)黨員科技工作者們，正積極推動(dòng)蚌埠市智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。陳博就是其中的一位。
作為中國(guó)三大傳感器研發(fā)制造基地之一，蚌埠在智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展上基礎(chǔ)好、起步早、發(fā)展快，是安徽唯一、全國(guó)為數(shù)不多的同時(shí)擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)的城市。
“一個(gè)小小的數(shù)據(jù)，可能就需要整個(gè)團(tuán)隊(duì)配合才能完成?！卑不毡狈轿㈦娮友芯吭杭瘓F(tuán)有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：北方微電子院）高級(jí)工程師陳博，2008年畢業(yè)以后來(lái)到蚌埠，長(zhǎng)期從事MEMS工藝制造技術(shù)研究。
據(jù)悉，蚌埠全市智能傳感產(chǎn)業(yè)有200余家相關(guān)企業(yè)，其中高新技術(shù)企業(yè)50家，省級(jí)以上專(zhuān)精特新企業(yè)17家，覆蓋產(chǎn)業(yè)上下游各個(gè)環(huán)節(jié)，經(jīng)濟(jì)規(guī)?？偭砍賰|元。其中，坐落在蚌埠市的北方微電子院，是國(guó)內(nèi)中高端MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的頭部企業(yè)。
6月27日上午，剛剛走出實(shí)驗(yàn)室的陳博，身穿實(shí)驗(yàn)操作服、戴著一副半黑框的眼鏡。隨后，他和團(tuán)隊(duì)的小伙伴一起，分析實(shí)驗(yàn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題、尋找原因?！耙欢ㄒ页鲈颍拍苷嬲酝?、解決問(wèn)題?！标惒┱f(shuō)。
2008年，陳博畢業(yè)于吉林大學(xué)應(yīng)用物理學(xué)專(zhuān)業(yè)。今年39歲的他，是一名“老黨員”，黨齡19年。
“在大學(xué)里，我就已經(jīng)加入中國(guó)共產(chǎn)黨?！标惒┱f(shuō)，革命英雄的事跡和崇高精神將永遠(yuǎn)銘記在人民心中，也是激勵(lì)我們前行的強(qiáng)大力量。
陳博具有豐富的MEMS體硅工藝和MEMS器件工藝流程開(kāi)發(fā)研究經(jīng)驗(yàn)。近年來(lái)，他承擔(dān)的國(guó)家、地方科研項(xiàng)目10余項(xiàng)，涉及產(chǎn)品包括MEMS慣性傳感器、光學(xué)MEMS微鏡、MEMS超聲換能器等，廣泛應(yīng)用于我國(guó)國(guó)防工業(yè)領(lǐng)域。
不斷探索、精益求精。成功并非一蹴而就，而是日復(fù)一日的堅(jiān)持、團(tuán)隊(duì)合作的共同努力、堅(jiān)守。
“產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中，出現(xiàn)異常，太正常了。我們要做的，就是發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，然后去解決它?！标惒└嬖V記者，作為一名技術(shù)人員，這是他們工作的常態(tài)。發(fā)現(xiàn)了問(wèn)題，需要組織人員進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，查找原因，再想解決措施。
功夫不負(fù)有心人。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，陳博帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，通過(guò)堅(jiān)持不懈的努力，突破了多項(xiàng)MEMS體硅加工關(guān)鍵技術(shù)和MEMS器件攻關(guān)研制。近年來(lái)，陳博申報(bào)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利20項(xiàng)，已獲授權(quán)16項(xiàng)，獲得中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)科技進(jìn)步獎(jiǎng)、科技創(chuàng)新獎(jiǎng)、技術(shù)改進(jìn)獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng)10余項(xiàng)。
“智能汽車(chē)就會(huì)用到我們的技術(shù)?！标惒┙榻B，比如說(shuō)MEMS掃描鏡，它是小型化MEMS激光雷達(dá)的核心部件，可以大幅降低激光雷達(dá)成本、提高探測(cè)精度、減小體積、實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛的快速落地，在自動(dòng)駕駛產(chǎn)業(yè)具有廣闊的市場(chǎng)前景。作為產(chǎn)品負(fù)責(zé)人，陳博帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)突破了MEMS掃描鏡的核心制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的批量生產(chǎn)。
正如陳博所言，在這里，大到100多人的大團(tuán)隊(duì)，小到不足20人的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，求真務(wù)實(shí)、學(xué)習(xí)創(chuàng)新氛圍濃厚，一群人在為夢(mèng)想奮斗。
